Учебное пособие по курсу Физика электронных и ионных процессов
Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф.
Санкт-Петербург, СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2002 - 80сВзаимодействие ионных потоков с твердым телом.Тормозная способность и пробег ионов.Торможение ионов и распыление твердотельной мишени.Торможение ионов и ионная имплантация.Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР). Исследование начальных стадий роста пленок методом РОР.Рентгеновское излучение, возбуждаемое ионами.